MEMS微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，EBL微纳加工制作，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。通过光刻技术制作出的微纳结构需进一步通过刻蚀或者镀膜，才可获得所需的结构或元件。21世纪，人们仍会不断追求条件更
