低压气相沉积真空镀膜加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。附着力反映了Al膜与基片之间的相互作用力，也是保证器件的重要因素。溅射原子能量比蒸发原子能量高1-2个数量级。高能量的溅射原
