MEMS微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，硅硅键合微纳加工制作，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。在过去的几年中，各地的研究机构和大学已开始集中研究微观和纳米尺度现象、器件和系统。微纳加工平台支持基础信息器件
