MEMS微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，甘肃微纳加工技术，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。新一代微纳制造系统应满足的要求：能生产多种多样高度复杂的微纳产品。在微纳加工过程中，薄膜的形成方法主要为物理沉积、
