MEMS微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，光电器件微纳加工委托加工，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。一维微纳制造：微流控芯片、导光板、纳米薄膜、微纳过滤材料、微纳复合材料及器件等。近年来，激光技术的飞速发展
