低压气相沉积真空镀膜加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，IGZO真空镀膜加工平台，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，氮化硅真空镀膜加工平台，以及行业应用技术开发。?热蒸发主要是三个过程：1.蒸发材料从固态转化为气态的过程。2.气化原子或
