微纳光刻加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。每颗芯片诞生之初，广东光刻定制代工，都要经过光刻机的雕刻，精度要达到头发丝的千分之一。整个光刻显影过程中，TMAH没有同PHS发生反应。
