MEMS微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，广东微纳加工加工，以及行业应用技术开发。从短期来看，微纳制造技术不会对环境和能源成本产生重大的影响。微纳制造技术是指尺度为毫米、微米和纳米量级的零件，以及
