通风工程施工要点科学技术的发展， 电子、 、 生化等行业的工艺技术突飞猛进， 产品日新月异。 如大规模集成电路已从微米发展到纳米级并批量生产，受控粒子尺寸要求小于 0.02μm ， 生产工艺对洁净室的环境要求更严格。 为此， 有
