洁净室泄漏检测 1.于ULPA上游侧，洁净度检测报告，测定一次侧之外气或回风浓度，以决定微尘粒子通过ULPA之容许渗透值（可以ULPA本身之透过率或率，计算之间。 2.距 ULPA测试面下方30—50MM处，以微尘粒子计数器设定30—50M /M每秒;之速度量测之，每量测距离间距5OM / M，其量测方向为由外围渐次向内， 3.在防侦烟器等部分均必须做量测。将泄漏测定之状态与数值记录列印出
