中图仪器VT6000系列共聚焦显微镜提供表征微观形貌的轮廓尺寸测量功能，还提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能： 粗糙度分析包括依据标准的ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数分析功能； 几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、
