真空系统的基本要求是什么?抽取设备或工作室获得所需的极限真空和工作真空值。空度是指设备在没有泄漏和排气的情况下达到的真空值,工作真空值是指设备在真空处理过程中可以维持的真空值。在真空处理过程中,经常会释放出大量的气体,当工作真空值明显极限真空度时。极限真空度和工作真空值各有其重要性,它们从不同的侧面影响设备的质量。例如,在使用氧化