光学平板随着大规模、超大规模集成电路制造技术的发展，由于大批量半导体硅片加工的需要，光学平板价格，国外出现了双面高速加工机床，适用于半导体硅片的双面研磨和抛光，进而被推广到高速研磨抛光光电仪器中的光学平板。光学平板通常作为分光镜或窗口等透过型元件或被用作全反射镜或光学测量中的基准平面。表面经过氧化发黑处理，既美观，阻尼隔
