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视频作者:苏州振鑫焱光伏科技有限公司
对于蓝宝石基板来说,它在成为一片合格的衬底之前大约经历了从切割、粗磨、精磨、以及抛光几道工序。以2英寸蓝宝石为例:
1. 切割:切割是从蓝宝石晶棒通过线切割机切割成厚度在500um左右的。在这项制程中,金刚石线锯是主要的耗材,目前主要来自日本、韩国与台湾地区。
2. 粗抛:切割之后的蓝宝石表面非常粗糙,需要进行粗抛以修复较深的刮伤,改善整体的平坦度。这一步主要采用50~80um的B4C加Coolant进行研磨,研磨之后表面粗糙度Ra大约在1um左右。
3. 精抛:接下来是较精细的加工,因为直接关系到后成品的良率与。目前标准化的2英寸蓝宝石基板的厚度为430um,因此精抛的总去除量约在30um左右。考虑到移除率与后的表面粗糙度Ra,这一步主要以多晶钻石液配合树脂锡盘以Lapping的方式进行加工。
3.1 恒流工作模式控制电路
典型的MOSFET有3个工作区,即截止区、线性区和饱和区。当MOSFET工作于线性区时,通过控制其栅源极之间电压VGS可实现对其流过电流Id的控制,终控制其等效阻抗,从而对电源的输出性能测试。其子控制电路如图2所示,选用低温漂采样电阻采集电流信号,再将该电流信号差分放大接入运放U1A 反向输入端,U1A将电流信号和同向输入端的控制信号作比较运算,控制MOSFET栅极电压,实现对MOSFET等效阻抗的控制。
芯片的背部减薄制程
磊晶之后的蓝宝石基板就成为了外延片,外延片在经过蚀刻、蒸镀、电极制作、保护层制作等一系列复杂的半导体制程之后,还需要切割成一粒粒的芯片,根据芯片的大小,一片2英寸的外延片可以切割成为数千至上万个CHIP。前文讲到此时外延片的厚度在430um附近,由于蓝宝石的硬度以及脆性,普通切割工艺难以对其进行加工。目前普遍的工艺是将外延片从430um减薄至100um附近,然后再使用镭射进行切割。

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