目前已推出的化学过滤器主要是：
a.活性炭过滤器，大多数是晶粒状的，有盘片式、蜂窝式等；亦已有活性炭纤维过滤器，具有吸附速度快的特点，价格尚较高；还已有晶粒与纤维粘合的过滤器。
b无纺合成织物上浸渍各种功能晶粒（如活性炭、活性铝，但主要是活性炭）以吸附AMC物质。
至今，百级无尘室，据报道，φ300mm园片加工除二条试验生产线外，已有四条生产线（德国一条、美国一条、我国台湾二条）开始运转，对AMC的控制情况，无尘室工程改造，当然不详，简易无尘室，但洁净室环境为ISO5～6级，对洁净室设计较简单些。可以看到，今后IC生产，其生产环境的污染控制重点必然转到工艺设备及园片传、存放系统的研发及制造上.
无尘室工程概述
无尘室工程(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。没有无尘室，污染敏感零件不可能批量生产。在 FED-STD-2里面，无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，无尘室，从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细1菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。
无尘室能耗大的原因
1、无尘室工程净化的送风量大，不同净化级别的无尘室送风量和相同面积的舒适空调送风量的相比是其1.5-55倍，而且送风风压也是其2-3倍，因此送风机的温升耗冷量很大。
2、无尘室空调净化系统的新风量大，一般情况下，新风量等于排风量与正在坟漏风量之和，因此生产工艺排风量大故新风量就很大，因此，新风的热湿处理耗能也就很大。
3、无尘室中的工艺设备和工艺过程发热量大，而且连续两份班制或三班制运行，因此，耗能量也大。
4、无尘室内生产工艺的温、湿度及其精度要求很高、很严，也是能耗大的原因。
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