白光干涉仪以白光干涉技术原理，是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。其特殊光源模式，可以适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。 SuperViewW1国产白光干涉仪结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统
