
洁净室的气流速度/换气次数,一直是洁净室设计中受到关注的问题,随着洁净室污染源的控制效果增加及末级过滤器效率的提高等,对有关规范、导则等提出的推荐或参考值是否偏于保守,已有不少讨论;FFU在应用中人们担心的噪音、损坏维修等问题已在实践中得到解决,随着FFU的不断改进,对是否采用FFU回风系统也是个热点:悬浮分子污染(AMC)的控制在微电子及IC工业中已日益提到日程上来,受到关注。以下对这些问题的情况分别作归纳和分析。


目前已推出的化学过滤器主要是:
a.活性炭过滤器,大多数是晶粒状的,无尘室,有盘片式、蜂窝式等;亦已有活性炭纤维过滤器,具有吸附速度快的特点,价格尚较高;还已有晶粒与纤维粘合的过滤器。
b无纺合成织物上浸渍各种功能晶粒(如活性炭、活性铝,无尘室设备,但主要是活性炭)以吸附AMC物质。
至今,据报道,φ300mm园片加工除二条试验生产线外,已有四条生产线(德国一条、美国一条、我国台湾二条)开始运转,对AMC的控制情况,当然不详,但洁净室环境为ISO5~6级,对洁净室设计较简单些。可以看到,无尘室设计,今后IC生产,其生产环境的污染控制重点必然转到工艺设备及园片传、存放系统的研发及制造上.


昆山清阳净化系统工程有限公司风管系列:
风管市场上按材质一般分为三类:镀锌风管、不锈钢风管以及复合风管。其中,无尘室工程改造,不锈钢风管质量hao,适用性强,但价格高。镀锌风管基本具备不锈钢风管的特点,不过价格方面只需不锈钢风管的三分之二甚至更低。
由于铁皮容易在各种环境下发生化学反应,造成腐蚀、生锈。而锌在干燥的空气中几乎不发生变化。在潮湿的空气中,锌表面会生成致密的碱式碳酸锌膜。镀锌风管主要是在风管铁皮上镀上一层锌,对铁皮起到保护的作用。锌镀层经钝化处理、染色或涂覆护光剂后,能显著提高其防护性和装饰性。
镀锌风管广泛应用于宾馆、商场、纺织、化纤、石油化工、机械制造、仪表、电子、医1药、烟1草、食品、医1疗、仓储、写字楼以及地铁、人防、地下室等工程的送风、排风、排烟管道。

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