产品名称:无纺布抛光垫/碳化硅sic抛光垫/suba800替代 产品特点:吉致抛光垫满足低、中及高硬度材料抛光需求,针对碳化硅sic抛光的4道工艺制程搭配不同型号抛光垫(粗磨垫/精磨垫/粗抛垫/精抛垫)具有高移除率、高平坦性、低缺陷等优点。 产品工艺及用途:特殊纤维结构的抛光材料,适用于碳化硅sic/再生晶圆/各类三五族或二六族等晶圆,如蓝宝石