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北京晓韬科技-气体质量流量控制器厂家-气体质量流量控制器高清图片 高清大图

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什么是气体质量流量控制器


气体质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。

质量流量控制器不仅具备质量流量计的作用,更主要的是,它能控制气体流量,即客户可按照需求设定流量,气体质量流量控制器哪家好,MFC会自动地将流量稳定在设定值上,即使系统工作压力有起伏或自然环境温度有转变,也不会使其偏移设定值。简易地说,气体质量流量控制器,质量流量控制器可以看成是一个稳流设备,气体质量流量控制器价格, 是一个可以手动式设置或与电子计算机连接自动控制的气体稳流设备。



如何通过质量流量控制器判断有没有气体通过?

可以使用惰性气体接到MFC进气端,气体质量流量控制器厂家,然后将出气口接一根软管再通进水里,如果软管口有气泡冒出,证明MFC是有气体通过的,不过需要注意防止液体倒吸进MFC内,也可以用手将出气口堵死,观察瞬时流量是否有下降,如果有下降,也证明有气体通过,此时堵住出气口的手指也能感受到一定的压力。



气体质量流量控制器应用领域

气体质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密的测量和控制。其广泛应用于半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产并在其中起着重要的作用。典型的应用场合包括微电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气象色谱仪及其他分析仪器。



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