匀胶机调速范围和时间：I档：50~10000转/分，时间0~999sII档：50~10000转/分，时间0~999s适用：直径5~100mm硅片及其他材料匀胶转速稳定性：±1％胶的均匀性：±2％电极功率：40W，单相110~240V真空泵抽气速率：＞60L/min热板温度：0~300℃温度稳定性：±1℃功率：850W台面大小：200x200mm 顶旭桌面微型光刻机，
