顶旭桌面微型光刻机，专为微米级图案制作而设计，旨在保障zhuo越的图形转移精度。设备采用紫外LED冷光源，结合双非球面石英透镜，可生成半角＜2°的平行光，相较传统接触式曝光机，其ji致紧凑的体积将移形换影置于桌面之上，为操作提供了便利与jing准。该光刻机广泛适用于微流控芯片、MEMS器件、光电子器件以及声表面波器件等制备领域。其性能尤其适合高校、科研院所以及企业展
