复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。⑴洁净隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及，无尘室设备搬迁公司电话，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。
洁净室吸尘器是无尘厂房、车间的强力真空吸尘器，可迅速、便捷、地完成清洁工作。特点：超高过滤效果，可有效的除去对呼吸气管造成过敏的有害粉尘，减少呼吸疾病的发生。当你使用吸尘器时，可以减少您清洁厂房的次数，因为它不会二次扩散灰尘，并可净化室内空气。有完备的各类吸嘴，任何角落皆可轻松清洁干净。较强的吸力可吸除更深层的粉尘。设计新颖轻巧，符合人体工学，操作时不会腰酸背痛，无尘室设备包装搬迁怎么收费，减少人体不适。吸尘器可专门针对防尘爆及有毒粉尘，如石棉，无尘室设备拆卸运输公司，铅等物质，美国太空总署特别使用吸尘器清除货仓内的微细粉尘。
若能实施“不携入”技术，无尘室内的洁净度就可以维持。但现实中人和物品的频繁出入及制造机台的掣动，在广大的无尘室内要有完全洁净度是不可能的。控制气流可防止微粒子累积，但对于带电表面的微粒累积就无法防止。为了防止由静电吸附而引起的微粒附着，张家港无尘室设备，通常在无尘室内会使用带电程度在数十伏以下的导电性材料。而对于制造品本身的带电，则采用带电程度很少的搬送形态及接触部品材料，并藉由除电装置进行除电。
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