使用方法该设备操作简单，易于上手，具体操作如下：一、曝光前准备工作1、硅片处理：确保待曝光硅片经过匀胶处理，微流控光刻机，表面干净平整，没有明显的污渍或破损。2、选择光刻板：根据项目需要，选择合适尺寸的光刻板，本设备兼容4英寸、5英寸或6英寸。3、设备检查：仔细检查设备，确保所有部件处于正常工作状态，确保操作环境良好。二、曝光操作步骤1、安装硅片：将待曝光硅片平放在
