等离子键合机操作与使用手动操作1.人机界面开启后，选择“手动画面”进入手动操作。2.进入手动画面，关闭腔门会自动亮起“OK”3.选择“真空泵开”，PDMS脱泡器，抽气3-5分钟（抽出腔体里面的湿气），然后“清洗开启”；大约等待时间1-2分钟左右，开始放电，PDMS脱泡器国产，进行辉光放电测试。4.测试完成后先关闭清洗然后再关闭真空泵，下一步选择“平衡阀开启”，大约2
