超纯水设备是可以完全去除水中的导电介质，以可以将水中的有机物质、不溶解的胶体物质和其化杂质去除的水处理设备。在半导体材料、蓄电池、线路板等电子行业应用的非常广泛。 半导体超纯水设备由反渗透设备与EDI设备相结合，是一种环保、经济、发展潜力巨大的超纯水制备工艺 工艺流程为: 原水一多介质过滤器一活性炭过滤器一精密过滤器一中间水箱一反渗透设备一电去离子(EDI)一超纯水箱一超纯
