Meriam 层流元件LFE Meriam 层流元件LFE 非常适合测量 0.2 SCCM 至 2250 SCFM 的低气体流速。它们本质上是准确和可重复的，并且可追溯到 NIST 进行校准。流量调节比为 20：1 或更高，产生的压差几乎与流量成线性关系。这种组合使LFE成为气体流量测量的绝1佳选择。 性能 标准 LFE 校
