高纯气体的输送管路系统
随着微电子工业的发展,超大规模集成电路制造的硅片尺寸越做越大,要求半导体制造工艺中的气体相应越来越高,高纯供气哪家好,对气体中杂质和露1点要求极为严格,需要达到ppb、ppt级,尘埃粒径求控制小于0.1~0.05m的微粒,因此对高纯气体的输送管路系统提出了非常高的要求 。
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高纯供气系统
改善工作环境。实验室内钢瓶、空压机等供气源的取消减少了占地面积,便于实验室设备和设施的布置,吉林高纯供气,避免了其与实验室操作人员在一处造成的混乱和不便。
降低运行成本。集中供气系统可采用储气量较大的液态储罐供气,可大大节省采购成本,减少更换气瓶、气罐的频次,节省劳动成本,减轻了维护人员的劳动强度,便于管理、维修和保养。
实验室供气系统气体管路
指气瓶至仪器终端之间连接管线,一般有气体切换装置-减压装置-阀门-管线-过滤器-报警器-终端箱-调节阀等部分组成,输送气体为实验室仪器(色谱、原子吸收等)用气、高纯气体。
使用的气瓶和备用气瓶之间有一个半自动调节阀来控制。所有气体管路都是高质量的、完全退火、无缝不锈钢SS-316L。所有氧气管路都需完全清理干净,使其适合氧气使用。气体管路需要有安全压力释放阀门、压力调节阀门、压力表来指示气体压力。
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