高纯气体的输送管路系统
随着微电子工业的发展,高纯供气生产厂家,超大规模集成电路制造的硅片尺寸越做越大,要求半导体制造工艺中的气体相应越来越高,对气体中杂质和露1点要求极为严格,广西壮族自治高纯供气,需要达到ppb、ppt级,尘埃粒径求控制小于0.1~0.05m的微粒,因此对高纯气体的输送管路系统提出了非常高的要求 。
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高纯供气系统
高纯氮气纯化装置以深冷法制氮、PSA变压吸附制氮,氮膜分离制氮的普通氮气为原料,经过加氢催化除氧,冷凝、吸附二级干燥,过滤,除去氮气中的杂质氧、二氧化碳、水份和尘埃,获得高纯度的氮气。用户对纯氮中的含氢量有特殊要求时,我们可以通过工艺手段来控制氮气中的氢气含量。若原料氮的氧含量超过0.1%时,高纯供气厂家,则可用加氢除氧和除氢的方式来获得无氢高纯氮,若原料氮的氧含量小于0.1%,则采用化学除氧工艺方法。
实验室气体的危险性
1.有部分气体具有毒、强腐蚀等特性,其一旦泄漏,高纯供气哪里有,就可能会对工作人员及仪器设备造成伤害;
2.多种气体在同一个环境下使用,如果有两种会发生燃烧或爆1炸等强烈化学反应的气体同时泄漏,就可能对工作人员以及仪器设备造成伤害;
3.多数气瓶出口压力1高可达15MPa,即150公斤/cm2,如果发生气瓶口减压装置失灵,就有可能将一些部件激1射出去,其能量对人体或设备都具有致命性的伤害。
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