高纯供气系统
高纯氮气纯化装置以深冷法制氮、PSA变压吸附制氮,氮膜分离制氮的普通氮气为原料,经过加氢催化除氧,冷凝、吸附二级干燥,过滤,除去氮气中的杂质氧、二氧化碳、水份和尘埃,获得高纯度的氮气。用户对纯氮中的含氢量有特殊要求时,我们可以通过工艺手段来控制氮气中的氢气含量。若原料氮的氧含量超过0.1%时,则可用加氢除氧和除氢的方式来获得无氢高纯氮,若原料氮的氧含量小于0.1%,则采用化学除氧工艺方法。
高纯气体的输送管路系统
随着微电子工业的发展,超大规模集成电路制造的硅片尺寸越做越大,要求半导体制造工艺中的气体相应越来越高,对气体中杂质和露1点要求极为严格,需要达到ppb、ppt级,尘埃粒径求控制小于0.1~0.05m的微粒,高纯供气多少钱,因此对高纯气体的输送管路系统提出了非常高的要求 。
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特种气体钢瓶在运输和储存的注意事项
由于特种气体产品的潜在危险性,如氧气遇油脂着火,气瓶倒下使阀门拆断引起飞瓶,惰性气体引起窒息等等。所以在气体使用、搬运及储存中应注意的一些安全事项。
气体钢瓶在运输和装卸过程中应轻装轻卸,严禁抛、滑、滚及剧烈碰撞。
使用气体前应按要求将合格的减压阀连接到气瓶上,并清洁连接软管。不同气体的气瓶使用时不要使用同一个减压阀。
不应在封闭空间内用惰性气体(如氮气、二氧化碳等)进行实验分析、烧焊、低温冷藏、吹除等等。
烧焊时,应对气体及电气采取适当的保护措施。不要使用损坏的设备,如软管、电缆及焊等。
特种气体气瓶存放区应比较干燥,并有良好通风,严禁明火和其它热源,严禁曝晒可燃气瓶或氧气瓶附近严禁吸烟,气瓶不应接触到火花、火焰、热气及电路。
在储存、运输及使用杜瓦罐时不能使其卧倒,应永远使杜瓦罐保持直立状态。
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