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主营产品:高温扩散炉,半导体扩散,高温加热炉体,非晶带材加磁炉,烧结炉氧化

[供应]晶圆真空退火炉 晶圆退火设备

更新时间:2024/6/19 13:46:20
晶圆真空退火炉 晶圆退火设备
晶圆真空退火炉主要用于半导体晶圆的低温退火。
尺寸:4-8英寸晶圆
晶圆舟:标准
控温精度:±3℃
升温速率:10℃/min
洁净等级:千级洁净
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