氦质谱检漏仪用于对容器或器件的密封性进行检测，对被检件泄漏点进行定性、定量和定位的检测。仪器利用内置的真空系统，将被检气体抽入到仪器内部，然后将该混合气体离化，并将离子加速送入磁场当中，利用带电离子在磁场中的偏转效应，高压开关检漏，使氦离子与其它离子分离，通过对此氦离子信号的接收、放大和显示，从而反映出被测器件的密封性。
氦气是较轻的惰性气体，在喷出时会自动上升，为了准确找到漏孔位置喷氦，使用此方法时喷氦自上而下，由近至远（相对检漏仪的位置），这是因为在下方时有可能被上方漏孔吸入；氦质谱检漏方法 以其高灵敏度和准确性而通常应用于整体防漏等级较高的压力容器上。 氦检方法基本上可分为用氦气内部加压法和 设备内部抽真空外部施氦这两种。对于分装或总装，采用吸入法。被检工件冲入氦-氮混合气体，利用被检工件装配面或疑是漏点进行找漏。检漏仪显示数值超过规定值即为有漏。
氦质谱检漏仪设备内芯制造借鉴国外技术，具有灵敏度高，反应快，开机时间短等特点，是一款液晶触摸彩屏显示的全自动氦质谱检漏仪。检漏时喷在漏孔处停留的时间应为仪器响应时间的3倍，该时间再加上氦气在真空系统中的传递时间，即为两次喷氦的较小间隔时间，当然真空系统越庞大，该间隔时间也越长。检漏仪高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。
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