氦质谱检漏系统是一种高灵敏度的泄漏检测设备，其原理基于带电粒子在磁场中的偏转以及气体分子对电磁辐射的吸收。该系统的部件是氦离子源和质谱仪。
当需要检查的对象内部存在微小压力时，可以使用液态惰性气体作为示踪剂（例如：氦气），通过管道进入待测对象内并被稀释到很低浓度后从密封区域中逸出形成一定的背景放散率Rb。此时可以通过测量总释放量Ra来判断泄露是否发生，若Ra>Rb+ΔR且ΔR足够小时则认为发生了泄露[1]。
真空箱氦检漏系统主要用于检测电子产品的密封性能，常用于手机、笔记本电脑等产品在量产线上的可靠性和一致性测试。该系统的操作原理是：首先将待测电子产品放入真空气氛室中抽真空并充入高纯度惰性气体——氦气；然后通过的信号发生器产生高频电脉冲或机械振动源（声学法），检漏仪厂，均匀地辐射到被测样品上形成特定的应力场；接着利用示踪粒子“氦”原子无色透明且易与环境介质充分渗透的特点，使氦气的浓度能够迅速传递到达泄漏点并在其中弥散和溶解起来；使用灵敏的测量仪器对抽取到的含有微小泄露物的样本进行定量分析以得出样品的实际压力值并与参考标准相比较来判断是否合格。
氦检漏系统主要用于检测真空设备或容器中的微量泄漏，以保证其密封性能。其中一种常用的方法是使用超声波法进行测量的原理。
具体来说：当声源（通常为20kHz）发出的超声信号进入被测试的物品后发生反射和折射现象返回给；如果存在微小泄露物时就会在物体表面形成驻留压力场，产生一个与该物体的温度、湿度以及大气压紧密相关的声音振荡频率即回音或者说是杂散噪声；通过测量这种由可听声组成的复合噪音的大小即可得知相应的漏洞大小。
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