氦质谱检漏仪是用示踪气体氦气的专门用于检漏的仪器，它性能稳定，灵敏度高，是真空检漏技术中较成熟的设备，使用比较普遍的检漏仪。为工厂作业人员的安全以及环境保护，氦质谱检漏仪成为化工管道检漏的的选择。氦质谱检漏设备因氦比空气轻，因此要注意检漏的顺序，检查顺序应依照由下而上， 由近而远的顺序进行。对检漏方法的要求：稳定性好，即可以在足够长时间内灵敏度；所用“示踪气体”在空气中含量低，无毒，不腐蚀零件；
氦质谱检漏设备检漏过程中，如发现大量氦气进质谱检漏仪，应立即移去吸，电控箱互感器检漏，防止因仪器长时间清除不掉氦影响而延误测试。于氦检是通过氦穿过漏孔来检漏的，所以焊缝表面若存有油污、 焊渣以及设备内部的积水、污垢等都会使泄漏孔暂时阻塞而影响检测结果，因此，测试前必须设备内部清理干净及焊缝表面并用热风装置将设备内部干燥。氦质谱检漏主要领域：电力工业——高压开关、避雷器、发电厂冷凝器系统；电力工业——电子器件、半导体、传感器和积成电路；
本次试验被检测部位共40余处，并对汽轮机及小汽轮机轴封部位进行了变工祝复测。终结果发现特大漏点1处，大泄漏点1处，中漏点1处，小泄漏点10处，其他点为微漏或不漏。测试发现特大漏点部位为低压缸扩侧防爆膜，大泄漏点部位为低压缸固侧防爆膜，中泄漏点部位为低压缸扩侧法兰。为了在不影响机组正常运行的情况下，有效的改善机组真空状况，我们对主要漏点进行了涂抹密封胶临时堵漏处理，经过多次处理并检测，终处理后满足使用要求。
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