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主营产品:动态稀释配气仪,膜透仪,智能气路系统,非标系统定制

[供应]气体质量流量计数字控制模块价格-北京晓韬科技有限公司

更新时间:2024/8/22 1:36:22
气体质量流量计数字控制模块价格-北京晓韬科技有限公司
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视频作者:北京晓韬科技有限公司





使用质量流量控制器注意事项

使用质量流量控制器有四怕:

怕粉尘, 若粉尘进入流量计会堵塞传感器和分流器, 造成测量误差, 要求在进气口前加装过滤器;

第二怕液体和油污进入MFC, 会造成失控, 如果MFC的出口接有液体罐, 需要在MFC出口加上单向阀, 防止液体回流;

第三怕使用潮湿的腐蚀性气体, 潮湿的腐蚀性气体会使不锈钢生锈, 造成MFC通道损坏, 因此要求在使用腐蚀性气体前, 要对气体和MFC管路系统进行干燥处理;

第四怕在使用强腐蚀性、有毒等危害性气体时不按安全规则操作, 有可能造成产品损坏和其它更严重的损失。

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FSCU 用途

将 FSCU 嵌入到应用系统中,FSCU 可通过触摸屏、PLC、PC 软件等上位机系统控制国内外主流流量控制器(如北京七星华创、Horiba、MKS、Brooks、Bronkhorst、Alicat 等)及截止阀,可以读取气路中压力信号或温度信号并进行转换,气体质量流量计数字控制模块价格,从而实现气路中常用元件的程序控制,实现温压修正、MFC故障诊断、气路截止等一系列联动功能。

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体积流量的表示方法

对多数用户而言,体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用,气体质量流量计数字控制模块厂家,但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量(如g/min),这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数, 可以方便地查到,因而简单地做一个乘法(以密度乘以若干slm)即可实现。所以说,在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。

需要注意的是, 被全世界质量流量控制器厂商共同采用的sccm/slm这种质量流量单位,气体质量流量计数字控制模块多少钱, 不符合国内计量标准的常用的质量流量的国际单位(Kg/min), 但是它符合国际半导体协会制定的SEMI。

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