真空炉用于真空条件下集成电路、电力电子器件生产线对所生产产品进行烧结、合金、退火、焊接等工艺处理。具有控温精度高，降温速度快等特点。 真空炉技术指标： 石英管真空室：1—3室 真空度：1Pa，加扩散泵为5x10-3Pa 工作温度： <1300℃ 控温精度： ±1℃ 等温区长度：根据工艺要求 口径：Φ80mm～Φ280mm 控制方式：程控、微控
