氧化扩散炉性能特点： ◆具有可编程的升、降温功能 ◆采用滤波器、屏蔽板等装置，有效解决电网、磁场的干扰 ◆windows xp全中文视窗操作系统，可储存1000条曲线，每条曲线设置30步 ◆自动运行中可暂停／继续运行功能 ◆智能升降温斜率控制功能 ◆PlD参数自整定功能，可存储多组PlD参数供系统运行调用功能 ◆系统故障的检测与报警功能、系统误差修正(单点或多点动态修正功能) ◆具有停电后断点继续运行功能 ◆工艺方式：干法氧化、湿法氧化、水汽氧化
