氦质谱检漏仪使用氦气作为示踪气体，氦是单原子稀有气体分子，在空气中的含量(5.2ppm)， 无色、无味，常温下为气态的惰性气体，极不活泼，既不能燃烧，也不助燃，化学性能稳定。在检测器件的密封性能时，遇到器件大漏时，有大量的氦气进入氦质谱检漏仪，短时间内仪器内部氦气难以清除，造成仪器的本底升高，仪器的检测灵敏度降低，影响仪器的再次检测精度。
测漏压力应不高于设备设计压力的2 5 %，但不0. 1 03MP。设备备保压3 0分钟后， 用扫描率不大于2 5 mm/秒或更慢的速度在距离焊缝表面不大于3 mm的范围内用吮吸， 并应从焊缝底部至上而行。氦质谱检漏仪的检漏率应高于设备所允许漏率1-2个数量级。首先将设备稳固的置于明亮、透风良好的场所，连接好检漏用管路及压力表，应将压力表安装在测漏容器的顶部便于观察的位置。氦质谱检漏主要领域：航空航天——燃料箱、油箱、及各种电机等；仪表制造——压力传感器、阀门、波纹管和密封焊接件等；
漏孔距离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同，汽车行业氦检解决方案，所以喷氦气应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远进行。对检漏方法的要求：能定位、定量，即不经能够找出漏孔的位置，还能知道漏率的大小，以便确定是否合乎质量要求；能无损检漏，不使被检设备受到损伤和污染；检漏的方式是：链接被检化工管道和真空泵组以及氦质谱检漏仪，用真空泵组把管道抽真空，达到一定真空度。
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