等离子法存在高压放电容易的危险性，一般不推荐使用。目前比较好的有机废气处理方法是废气处理塔采用五重有机废气吸附过滤净化系统，废气处理设计周密、层层净化过滤废气，效果较好，都是用到活性炭吸附箱。
而无机废气按其性质分为，如hcl（盐酸）、h2s（硫酸）、nox（氮氧化物）等，含尘废气如各种金属冶炼过程中的氧化粉尘、矿石加工过程中的石粉尘等等。
无机废气处理技术、无机废气如hcl、h2s的处理一般用液体喷淋吸收处理。
曾有研究报道指出，废气工程售后，利用吸收净化法处理含氟气体时，在经过几级的吸收后，氟的吸收率会介于97%-98%之间。很容易溶于水，从而形成，又能和许多碱性物质发生反应，从而形成氟化盐。也很容易溶于水，从而形成和硅胶。 所以，采用水或碱液吸收的方法，会很轻易的脱除废气中的和。采用碱液吸收含氟废气中的HF和SiF，经常会用氨水、石灰乳和纯碱、溶液作为吸收剂，且脱效果较好，同时还能把含氟废气中的有害物质转化为有用物质，吸收液还能进行再生的循环利用。
在处理含氟的有机废气时，一般采用吸收净化法和吸附净化法，这里我们主要介绍一下吸收净化法。 在我国很多工业生产的过程中，对含氟废气进行处理时，都会采用封闭循环水吸收和碱液吸收工艺。处理过程为：吸收器出来的尾气经旋风除沫，然后在进入洗涤塔，进入洗涤塔后，用污水循环泵将吸收液循环，用于进一步吸收。尾气净化后，再经过除沫器，后由风机送入尾气烟囱进行排空。在此过程中，由洗涤塔出来的含氟污水，会有一部分经循环泵进行自身循环，还有一部分会用泵送入旋风除沫器，进入除沫器的一部分含氟污水，在除沫器内会进液接触吸收。
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