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主营产品:气体管道安装,特种气体,标准气体,生物容器等

[供应]真空管道安装怎么样-真空管道安装-珂锐弘扬流体控制系统

更新时间:2024/10/25 10:01:50
真空管道安装怎么样-真空管道安装-珂锐弘扬流体控制系统





气体管道安装流程

  1、施工前准备:真空管道安装前做好施工材料的清点领用准备。

  2、材料防腐:防腐施工是真空管道安装项目的重要环节。在安装工程中常用的的防腐材料主要有各种有机和无机涂料、玻璃钢、橡胶制品、无机板材等。

  3、管道配管:冷热管尽量分开布置,分不开时,热管在上,冷管在下;真空管线应尽量短,减小阻力,达到更大真空度。

  4、支架第i一阶段安装

  5、管道安装及支吊架第二阶段安装

  6、管道对口、焊接:对口的关键是破口要合适。焊接时,要注意选择与管道材质相匹配的焊条,用评定好的焊接工艺进行焊接。

  7、阀门及特殊部件的安装

  8、支架和管道安装符合性检查

  9、严密性试验及水压

  10、系统的冲洗和吹扫

  11、支吊架调整

  12、安装结束及记录文件整理








洁净车间高纯气体管道的安装、施工?

洁净厂房中的气体管道是指气体压力小于等于0.8MPa的氢气、氧气、氮气、压缩空气、燃气等一般气体和高纯气体管道及真空管道,其具体的安装要求可参考《洁净室施工及验收规范》(JGJ 71-1990)的有关规定。高纯气体是指其气体纯度大于等于99.9995%,真空管道安装,含水量小于5×10-4%的气体。

高纯度、高洁净气体管道的施工不同于一般工业管道,稍有疏忽便可能破坏气体的质量。因此,要理解安装气体质量的重大意义、要求严格遵守设计、施工要求,工作严肃认真、一丝不苟,高度重视各个细小环节,建成符合要求的管路系统。要求做到以下几个方面:

1.外观的检查工作

(1)管道系统的管材、阀门及所有附件,严格设计要求选用,不得随意更改或代换。

(2)所有管材应放在室内精心保管,不得露天堆放、日晒和雨淋。

(3)管段端头要用塑料或橡胶密封罩加以密封,不得脱落、破i裂。

(4)管子、管件、阀门等使用前,详细进行下列外观检查:

1)无裂纹、缩孔、折叠、重皮等缺陷。

2)无锈蚀、蚀斑等现象。

3)管子平直、圆滑,无局部凹陷,无刮伤、挤压等缺陷。

4)管材内表面的“粗糙度”是否符合设计要求,真空管道安装厂家,螺纹处密封、保护是否良好。

5)外购成品“内表面超光滑洁净管”要有出厂合格证及相关等ii证书和资i质证明。应随机抽样做显微镜下检验,必须符合设计要求。

6)检查成品“内表面超光滑洁净管”的外包装和相应管端头的管帽、堵头等密封措施是否符合要求。

7)法兰的密封面应当平整、光滑,不得有毛刺及径向沟槽,凹凸法兰应当能够自然嵌合,凸面的高度不得凹槽的深度。

8)橡胶、塑料等非金属垫片,真空管道安装生产商,应当质地柔软、无老化及分层现象,表面不得有折损、皱i纹等现象。金属垫片的加工尺寸、精度、厚度、表面粗糙度、硬度、厚度等均要符合要求,表面不得有裂纹、毛刺、凹槽、径向划痕和锈斑等缺陷。







各种气体配管配件要求

在半导体体行业线宽越做越小,其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。

高纯氮气(PN2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氮气(N2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。

高纯氢气(PH2)氢气(H2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(Ar):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氦气(He):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

特气系统:必要的还需做双套管:外管酸洗钝化(AP)处理,内管电解抛光(EP),阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

对于特殊气体来讲,气体品种多,有毒有害气体多,原来是一机台配一气柜,高昂的装备组合和维修费用大大增加了投资成本,且有的还布置在工艺间内,存在着泄漏的安全隐患。现在广泛采用集中供气系统,气柜集中,自控系统不断完善,其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟,真空管道安装怎么样,特气间也与工艺间隔离,并对房间有防爆要求,工作的安全性大大提高。








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