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主营产品:石墨制品、石墨坩埚、石墨加热器、石墨盖、石墨夹具、高纯石墨、碳化硅石墨件、SGL石墨、高纯石墨坩埚、西格里石墨、石墨纯化、SIC单晶生产石墨坩

[供应]半导体用石墨纸及石墨箔/SGL Graphite Foil密封石墨纸等离子蚀刻腔室屏蔽

更新时间:2025/2/20 13:36:44
半导体用石墨纸及石墨箔/SGL Graphite Foil密封石墨纸等离子蚀刻腔室屏蔽
随着第三代半导体行业的发展,碳化硅(SiC)等材料的制造对高温、高纯度材料的需求不断增加。我公司推出的半导体用石墨纸及石墨箔,专为满足半导体制造中的高温、隔热、密封等需求而设计,具有卓越的导热性、导电性和化学稳定性;
产品特性
超高纯度:石墨纸和石墨箔采用高纯石墨材料,纯度高,杂质含量极低,确保在高温环境下不污染半导体材料。
卓越的导热性:石墨纸和石墨箔具有优异的导热性能,能够传导热量,确保工艺过程的高效性和稳定性。
耐高温性:可在高达3000°C的高温环境下使用,适用于惰性气体或真空环境。
柔性与可定制性:石墨纸和石墨箔具有类似纸张的柔软性和可塑性,可根据客户需求定制各种尺寸和形状。
化学稳定性:在高温和高真空环境下表现出色的抗腐蚀性和抗氧化性。
应用领域
半导体制造:用于化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)、离子注入等工艺中的隔热材料、柔性层和密封材料。
晶体生长:作为保温筒、隔热材料和反射层,确保晶体生长过程的稳定性。
高温设备:适用于高温炉、热场系统中的隔热和密封部件。
产品优势
SIGRAFLEX® 石墨箔:由天然膨胀石墨制成,不含粘合剂,纯度极高,适用于超高纯度要求的半导体工艺。
SIGRATHERM® 石墨软毡和硬毡:提供优异的保温性能,可用于热场保温和隔热部件。
定制化服务:根据客户的具体需求,提供从设计到加工的一站式定制服务。
公司优势
经验:多年专注于半导体用石墨材料的研发和生产,积累了丰富的行业经验。
技术支持:提供的技术咨询,帮助客户优化工艺,提升生产效率。
:严格的质量检测流程,确保每一件产品都符合。
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