氦质谱检漏仪的校准方法
(1) 漏率校准① 校准系统的组成
校准系统由标准漏孔、截止阀及需校准的氦质谱检漏仪组成。
②示值误差
通电预热，待氦质谱检漏仪启动完成后，采用标准漏孔对氦质谱检漏仪进行校准，将一经过校准的标准漏孔接入氦质谱检漏仪系统，运行氦质谱检漏仪，待漏率示值稳定后，可以读出标准漏孔漏率的氦质谱检漏仪示值，同一标准漏孔测量三次，汽车空调检漏回收系统，计算氦质谱检漏仪示值平均值，从而得到标准漏孔漏率与氦质谱检漏仪示值平均值的示值误差。结束后，将其他量级的标准漏孔依次按此方法接入氦质谱检漏仪系统进行测试，得到氦质谱检漏仪在每一量级下漏率的示值误差。
如果测试结果有较大编差，可以考虑氦质谱检漏仪的自校功能，待完成后，再用标准漏孔进行测试。
③ 重复性
测量重复性是用实验标准偏差表征的，本校准方法采用极差法来表征重复性。在示值误差测量中，每一标准漏孔用氦质谱检漏仪重复测量三次，可用公式(2)计算氦质谱检漏仪在该漏率下的重复性。
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氦气检漏的主要参数及优势
1、关键零部件集优采购，保证了系统的稳定性和可靠性；
2、真空箱内氦气本底抑零，保证了检漏的准确性、；
3、特有的清氦系统，有效地清除超标的氦本底，保证检测的稳定性和准确性；
4、实时监测氦气压力和浓度，保证了工件检测的精度；
5、可对使用过程中产生的浓度不合格氦气进行提纯，极大降低氦气损耗（功能可选）；
6、可同时检测多工件，并能按照需求自动判断出具体的有漏工件；
7、定制的的密封接头，，减少误判。
8、触摸屏实时显示监测数据和运行参数，监控一目了然。
9、电气控制系统的连锁保护及声光报警功能，确保了系统的操作安全及可靠运行。
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氦质谱检漏仪的进展
经过近半个世纪的努力，今天的氦质谱检漏仪已告别了四十年代初期的情形。
集中体现在如下几个方面：
（1）便携式：近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。
（2）高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，检漏回收系统，对检测大系统和有大漏的工件很有益。
（3）自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，汽车空调检漏回收系统，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单的选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。
（4）全无油的干式检漏：有些生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。
（5）检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，质量范围很宽，不仅可检测氦气，而且能检测其它气体。
分子泵排气系统取代扩散泵排气系统，不仅解决了油蒸气对质谱室的污染问题，而且对启动仪器和停机做出了很大贡献。为适应检漏口压强的变化和对灵敏度要求的不同，分子泵一般采用多级构造和几种不同的转速。
例如：瑞士、日本采用改变分子泵转速来达到此目的，且提高检漏灵敏度。
另外，汽车空调检漏回收系统，逆扩散检漏方式，实现了高压强下检漏，也为正压吸检漏提供了良好的条件。
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