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视频作者:广州潽拓光电科技有限公司
广州潽拓光电科技有限公司——爱德华涡轮分子泵
Edwards STPA1603C英国爱德华磁悬浮分子泵维修
小巧而强大的Edwards STPA1603C涡轮分子泵采用Edwards的转子技术进行设计。它提供极高的吞吐量、*高的可靠性和yi流的性能,满足zui新一代半导体制程的需要。其半机架的控制器和紧凑型设计可节省可观的空间,而其的沉积减少系统提高了可靠性和性能。STPA1603C已经在zui新的200mm刻蚀工具上得到了证明,黄埔区爱德华涡轮分子泵,也能够满足新一代300mm氧化物腐蚀制程的需要。
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XDS 泵的设计极具性,爱德华涡轮分子泵保养公司,采用轴承屏蔽将真空环境与所有形式的润滑剂隔离开来,使之不仅完全干燥,而且完全密封。该屏蔽还能保护轴承免受任何制程蒸汽的影响。
可调气囊允许处理蒸汽,将应用范围拓展到以前许多不适用滚轴泵的情况。XDS 泵用于泵送可冷凝的蒸汽,爱德华涡轮分子泵维修费用,可以使用为广泛的实验室湿化学应用所选择的各种材料。
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Edwards RV系列油封旋片泵功能,同时具备高真空和高吞吐量性能,低的噪音级别和的气囊装置,使其成为适用于应用和环境的理想产品。这些泵的抽速范围为3至12 m3/hr。Edwards RV12油封式旋片真空泵爱德华真空泵Edwards真空泵旋片泵油回转高真空泵爱德华RV12油封式旋片真空泵Edwards真空泵。
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