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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司
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Pfeiffer TMH071涡轮分子泵是德国Pfeiffer Vacuum公司设计制造的一款分子泵，Pfeiffer TMH071的转速为90000rpm， 其对应的频率为1500Hz，标准的Pfeiffer TMH071涡轮分子泵对应的极限真空为1.0*10-7mbar，使用不锈钢外壳及CF口径的Pfiffer TMH260极限真空可以达到5.0*10-10mbar。
Pfeiffer TMH071普发分子泵维修图：
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涡轮分子泵 HiPace 1500 对各种气体的具有高抽吸能力: 不论是小分子量气体 (H2， He) 和大分子量气体 (Ar， CF4) 都有很高的抽速.
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Pfeiffer 涡轮分子泵 Hipace 系列，采用复合轴承设计，内部主要由陶瓷球轴承，转子轴，安全轴承和磁性轴承组成，正常运行3-4年建议做一次标准保养
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Pfeiffer 涡轮分子泵 Hipace 系列，采用复合轴承设计，内部主要由陶瓷球轴承，普发分子泵控制器维修电话，转子轴，安全轴承和磁性轴承组成
“HiPace 450 涡轮分子泵具有理想的尺寸功率比。是 300 至 700 l/s 吸力级别中结构紧凑的大功率涡轮分子泵，针对小分子气体具有的抽吸能力。”
HiPace 内置的驱动电子设备在不增加体积尺寸的情况下，提供了包括 ProfiNet 和 EtherCat 在内的大量通讯接口。通过遥控和传感器元件可以对泵数据进行分析，实现在运行过程中进行理想的工艺监控。它的运行噪音低，气体流量大，为真空行业树立了新的标准。该系列的各款泵均已获得 Semi S2
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