油膜滑台是利用一块精确研磨表面的天然花岗岩和一个镁合金材料的滑盘在油膜之间滑动。根据要求可采用4个线性的导向装置或静压轴承线性导向装置。TIRA可以提供工作台面在2000×2000mm以下各种标准尺寸工作台面的水平油膜滑台。更大尺寸或客户特殊要求的尺寸可以定做。
控制仪:
可选择2-16 输入通道。频率范围为DC– 20000Hz，正弦的频率分辨率为0.000001Hz，随机的频率分辨率为0.2Hz，闭环动态范围为90dB；输入信道：24位的A/D转换分辨率，动态范围为120dB，信噪比大于100dB，总的谐波失真小于-05dB；输出信道：24位的D/A转换分辨率，总的谐波失真小于-100dB。控制仪安装在功率放大器的架上，有以太网接口，通过一根网线连接到PC机上。避免连接传感器和驱动电缆来回控制室与实验室之间，消除50/60Hz 噪声干扰问题。
