Edwards E2M 系列双级油封旋转叶片真空泵因其高极限真空、高抽取速度、运行噪音小以及能够处理水蒸汽而享有盛誉。这些直接传动旋转式叶片泵设计紧凑且无振动，配备防伤手风扇和联轴器壳体，可为操作人员提供的保护。EM 系列油封旋转式叶片泵（小型）EM 系列泵是结实的机械油封泵，抽速为 0.7 到 28 m3/hr，具体取决于型号和级数。这些泵结构紧凑，使用时非常安静，具备的润滑回路，可靠性高，配有各种附件，可以满足您的特定应用需求。安静运转：? ? 工作环境更好性能可靠：? ? 在一系列 实验室和工业应用中得到验证独立式 装置和紧凑式设计：? ? 使用灵活性气镇 阀：? ? 高的蒸汽处理 能力E2M0.7 和 E2M1.5 泵是双级直接传动滑片泵 该泵采用油封技术，能够长期可靠地运行。该泵为独立式装置。传动由完全封闭的风扇冷却单相电机通过 Oldham 联轴器提供。该泵非常适合科学应用（例如前级涡轮分子泵）以及一般实验室应用。EM 系列的油封旋转泵（因其高极限真空、高抽取速度、运行噪音小以及能够处理蒸汽而享有盛誉）已成为实验室和轻工业应用的行业标准。该泵是自由放置的装置，其传动由一个单相或三相（四极）电机通过活动联结器提供。EM 系列油封旋转式叶片泵（中型和大型）EM 系列泵是结实的机械油封泵，抽速为 0.7 到 275 m3/hr（30 到 206CFM）。这些泵结构紧凑，真空泵油，使用时非常安静，具备的润滑回路，可靠性高，配有各种附件，可以满足特定的应用需求。应用? 分析仪器? 氦检漏仪? 研发? 真空冶金加工? 薄膜覆层技术? 制药冷冻干燥? 冷冻和空调系统抽空、干燥和回填特性和优点? 可靠性可靠且稳定的制程 - 即使是在高气体负荷下也可提供有效的润滑? 稳定无制程污染 - 油和空气反吸保护? 性能长期无故障 - 传动轴杆上安装有工业级滚柱轴承? 再保证安心 - 经过多年尝试、测试，已经成为工业标准可靠且稳定 –泵系列E1/E2M18E1/E2M18ATEXPFPEE1/E2M18E2M28PFPE E2M28E2M40FXE2M40T4E2M80E2M80FXE2M80T4E2M175E2M175FXE2M175T3E2M275E2M275T3E2M175 与 E2M275E2M175E2M175FXE2M175T3E2M275E2M275T3 真空镀膜是在真空环境下，金属或金属氧化物变成气态原子或分子，沉积在金属或非金属表面而形成，具有低能耗、无毒、无废液、污染小等优点［1-2］。而基本的薄膜制备技术有真空蒸发、溅射镀膜和离子镀3 种常见技术［3］，vm100 真空泵油，其中蒸发镀膜和溅射镀膜是实验室中常采用的镀膜技术。另外，也有实验室采用仿真系统进行真空镀膜实验教学，如利用Visual Basic 2010 结合Open GL API，在 Windows 7 操作系统平台下制作了真空镀膜实验仿真系统，从而实现镀膜过程及薄膜生长过程等［4］。1 真空镀膜机系统结构DM-240 型镀膜机主要由镀膜室、真空系统、电气控制及机架等部分组成.镀膜室是真空环境下薄膜制备工作空间，如蒸发镀膜、轰击溅射镀膜。真空系统是用来真空抽气，从而获得高真空，主要由机械泵、扩散泵、高真空蝶阀、低真空三通阀( 以下简称低真空蝶阀) 等部件组成，也是本文介绍重点。电气控制用于控制真空操作、镀膜操作及其他辅助工作操作等。机械泵DM-240 型真空镀膜机机械泵采用的是旋片式真空泵，是利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的变容式真空泵［5］。其结构具有多样性，按照密封方式可分为油封式旋片真空泵和干式旋片真空泵; 按照连接电机方式又可分为皮带式旋片真空泵和直联式旋片真空泵; 按照泵体结构还可分为整体式、中壁压入式和组合式等［6］。它将偏心放置在定子腔中，转子与旋片将定子腔分割成吸气A、压缩B、排气C 3 个空间。当转子逆时针方向旋转时，与进气口相连的A 空间会逐渐增大，则其压强会不断降低，当其压强被抽容器内的压强时，被抽气体会被抽入A 空间。同时，B 空间也会逐步减小，则其压强会不断增加，从而气体被压缩。随着转子的旋转，与出气口相连的C 空间逐步减小，则其压强不断增加，当压强大于排气压强时，被抽气体会推开排气阀，穿过油箱内的油层排出至大气中。因此，随着转子持续旋转工作，被抽气体会不断被吸入与排出，从而达到抽真空1 － 泵体，2 － 旋片，3 － 转子，4 － 弹簧，5 － 排气阀双级旋片式真空泵则由两个前后串联的工作室组成，真空泵油gs32，两者同向等速旋转，前级是低真空级，后级是高真空级在用前级旋片式机械泵预抽系统和镀膜室真空度达到6． 67 Pa以上后，可以开启油扩散泵加热器，泵体内硅油则会逐步受热升温，当泵油沸腾时形成蒸汽流，从喷射喷嘴中高速喷出。此时扩散泵进气口处气体分子扩散到蒸汽流中，会通过碰撞获得动能，和蒸汽流作同向运动。当气体分子经过扩散泵排气口时，则会进入储气桶被压缩存储，然后被前级机械泵抽气抽走。而油蒸汽流运动到扩散泵泵壁时，会遇到泵壁的却水，则被冷凝，然后回流到扩散泵泵体底部，重新被加热，形成油蒸汽流，再次被高速喷射，进而循环工作，实现扩散泵连续抽气，直到高真空获得旋片真空泵是利用转子和可在转子槽内滑动的旋片的旋转运动以获得真空的一种变容机械真空泵，当采用工作液来进行润滑并填充泵腔死隙，分隔排气阀和大气时，即为通常所称的油封旋片真空泵。旋片真空泵，可以广泛用于石油、化工、印刷、包装机等工业。转子作为真空泵的主要零件，是保证泵正常工作的关键因素之一。转子的受力变形情况需要充分考虑，rietschle真空泵油，由于泵工作过程中转子密封在泵机座内，受力和变形情况不易测量。因此，用有限元方法对转子进行结构静力分析和模态分析，可以提高设计水平和降低转子设计与制造成本。更有利于对转子和泵进行设计。旋片式真空泵转子有限元模型的建立在ANSYS 中，选择Solid45 单元进行有限元网格分析，此单元为三维实体8 节点四面体单元。此转子的材料为QT400，弹性模量为“1.5e11”、泊松比为“0.3”、密度为7 300kg/m3。一般情况下，在计算机硬件计算能力许可的条件下，单元包含的节点数越多，划分有限元网格的精度就越高，ANSYS 得到的分析结果就越准确。本文网格采用自由网格划分，划分后得到的转子有限元模型.静力分析静力分析用于求解静力载荷作用下结构的位移、应力等。有限元静力分析的步骤为：几何模型的建立，施加载荷和边界条件、求解，结果评价与分析。利用图2 中的有限元模型，约束加载在转子两端轴承安装处，限定安装面的所有位移自由度，并在旋片槽底面上施加承受力表面的均布载荷，载荷大小为1 200N。求解后，查看变形前后比较图，如图3 所示。总应力分布如图4 所示。各方向的应力模态分析模态分析也是结构分析的一种形式，模态分析用于计算结构的固有频率和模态。模态分析的步骤为：建立模型，加载并求解，扩展模态与观察结果。有限元模型如图2 所示。约束加载在转子两端轴承的安装处，限定安装面所有的位移自由度。其中前2 阶的变形前后比较图分别如图5、图6 示。由于振型现在还没有被写到数据库或结果文件中，因此还要进行后处理，即对模态进行扩展。扩展模态的方法是：再次进入ANSYS 求解器，激活扩展处理及其相关选项，进行扩展模态处理。本文扩展5 阶模态，不同模态下箱体所受应力计算结果分析根据表 1 所列的不同方向上的应力，可以看出各方向的应力都在材料的需用应力范围内。由表2 所列的不同模态下的应力，可以看出各模态下的应力都在材料的需要应力范围内。在使用的过程中，使真空泵的频率区别于转子的频率就不会产生共振现象，保证真空泵的应用性能。 产品：创舰科技供货总量：不限产品价格：议定包装规格：不限物流说明：货运及物流交货说明：按订单
