以高产率产生超纯水(产率可以高达99%)
使用安全可靠,避免工人接触酸碱
安全简单,安装费用低廉
设备出水量:40吨/小时
出水指标:电阻率>1MΩ·cm
产水用途:500吨/天氟橡胶技改项目工艺用水
设备特点:气动阀门全自动与处理单元,PLC电控系统
封装测试行业及相关行业超纯水
TOC<50ppb
颗粒装(PARTICLE)达到0.2um<3-5PCS/ML
二氧化硅SiO2<10ppb
电阻率≥16MΩ·cm (25℃)
半导体芯片厂超纯水
TOC<10ppb
颗粒度(PARTICLE)达到0.05um≤200PCS/L
二氧化硅SiO2<5ppb
电阻率≥18MΩ·cm(25℃)
采用高纯度PVDF管路