冰箱冰柜试验室气体质量流量计含流量传感器、分流器通道和流量放大、线性化及温度补偿电路组成。增加电磁阀和PID控制电路就构成了流量控制器。 MFC和MFM可广泛地应用于石油化工、半导体和集成电路、特种材料学科、医药、环保和真空等多种领域的科学研究和生产中，冰箱性能测试，其典型应用有：电子工艺设备，冰箱冰柜性能测试，如氧化、CVD、扩散、外延、等离子蚀刻、离子注入和溅射，秦皇岛市冰箱，以及微
