1、基于新原理的加工方法努力开发加工单位极小的精密加工方法，必须在加工机理的本身就使其误差分散在1nm以下的水平。目前加工单位比较小的加工方法主要有弹性破坏加工、化学加工、离子束加工、电子束加工、等离子体加工等。目前的金刚石切削和金刚石砂轮精密磨削从其加工机理上看，尼康仪器厂家，其加工单位就很大。 2、开发精密的机械机构不论是加工装置还是测量装置，都需要 精密的机械机构，尼康仪器订购，包括导轨、
