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[供应]晶圆回收_磅礴电子_HTX4晶圆回收

更新时间:2016/11/3 13:38:41
晶圆回收_磅礴电子_HTX4晶圆回收


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首先是硅提纯,将沙石原料放入一个温度约为2000 ℃,并且有碳源存在的电弧熔炉中,在高温下,碳和沙石中的二氧化硅进行化学反应(碳与氧结合,剩下硅) 晶圆回收,得到纯度约为98%的纯硅,又称作冶金级硅 EGZ9晶圆回收,这对微电子器件来说不够纯,因为半导体材料的电学特性对杂质的浓度非常敏感,因此对冶金级硅进行金一步提纯:将粉碎的冶金级硅与气态的氯化氢进行氯化反应,生成液态的硅烷 EHL9晶圆回收,然后通过蒸馏和化学还原工艺,得到了高纯度的多晶硅,其纯度高达99.999999999% EEU3晶圆回收,成为电子级硅。







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当SiO2膜较薄时,膜厚与时间成正比。SiO2膜变厚时,膜厚与时间的平方根成正比。因而,要形成较厚SiO2膜,需要较长的氧化时间。


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