本公司长期需要各大厂家晶圆东芝.现代.三星.镁光蓝膜晶圆。
大量收购.EHL9、FFF1、EEU3、EGW1、HTX4、HTX5、K9GAG08UOE、
L84、EGZ9、FGC4、FGC2等系列晶圆。
一般说来,正型胶的分辨率高,而负型胶具有感光度以及和下层的粘接性能好等特点。光刻工艺精细图形(分辨率,清晰度) flash晶圆回收,以及与其他层的图形有多高的位置吻合精度(套刻精度)来决定 晶圆回收,因此有良好的光刻胶,还要有好的曝光系统。
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采用选择氧化进行器件隔离时所使用的氮化硅薄膜也是用低压CVD法,利用氨和SiH4 或Si2H6反应面生成的,作为层间绝缘的SiO2薄膜是用SiH4和O2在400--4500oC的温度下形成SiH4+O2-SiO2+2H2或是用Si(OC2H5)4(TEOS:tetra ethoxy silanc)和O2在750oC左右的高温下反应生成的,后者即采用TEOS形成的SiO2膜具有台阶侧面部被覆性能好的优点。。前者 EGW1晶圆回收,在淀积的同时导入PH3 气体 晶圆回收L83A,就形成磷硅玻璃( PSG: phosphor silicate glass)再导入B2H6气体就形成BPSG(borro phosphor silicate glass)膜。这两种薄膜材料,高温下的流动性好,广泛用来作为表面平坦性好的层间绝缘膜。
GVG5.ELV2.N9ZN.GXH2.GRR9.4D2E.K9GAG08UOD.K9G4G08UOA.4T2E.
GNM2.GWP2.GNX1.L73A.L85.B74A.L74A.
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